Mach-Zehnder 광 변조기를 이용한 20 Gbps급 진행파형 전극의 설계
Design of Traveling-Wave Type Electrodes for 20 Gbps Mach-Zehnder Optical Modulator

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본 논문에서는 20㎓ 대역에서 동작하는 광 변조기/LD 집적광원소자를 개발하기 위한 저손실, 저반사, 고속변조 특성을 가지는 우수한 M-Z진행파형 광 변조기의 초고주파 전극을 설계하고 패키징을 통해 실제 모듈로 구현 가능한 형태와 치수를 직접 제안하였다. 제작된 진행파 전극들은 15㎓ 이상에 이르는 매우 넓은 주파수 범위에서 각각 50Ω에 가까운 양호한 특성 임피던스 값을 보이며 반사손실이 -15㏈~-20㏈에 이르는 우수한 진행파형 초고주파 전극의 반사 특성을 보였다. SI형 InP 반도체에 제작된 진행파형 전극이 20㎓ 까지 우수한 변조/손실 특성을 보였다.