코플라나에서 S-파라미터 측정에 의한 기판 특성추출

Extraction of the substracte properties by S-Parameter in Coplanar Waveguide

코플라나 선로를 사용하는 등방성 박막 매질의 전자기 특성을 검출하기 위해서 광대역기술을 적용 하였다. 본 논문에서는 복소 유전율과 투자율을 준 TEM 모드로 전파하는 코플라나 셀의 s-파라미터로부터 계산하였다. 매질에 대한 측정된εr 와 μ r 은 O.05GHz 에서 6GHz 사이에서 나타내었다. 이 기술은 측정된 값과 예상한 값이 좋은 일치를 보여 준다.

요약

Ⅰ.서론

Ⅱ.코플라나 선로를 이용한 기판 특성

Ⅲ.결론

참고문헌

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