학술대회자료
집속 아르곤 이온 레이저 빔을 이용한 미세 구리 패턴의 형성
Patterning of micro copper lines using focused Ar+ laser
- 한국레이저가공학회
- 한국레이저가공학회 학술대회 논문집
- 2000년도 춘계학술발표대회 논문개요집
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2000.0647 - 50 (4 pages)
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Ⅰ. 서론<BR>Ⅱ. 실험방법<BR>Ⅲ. 결과 및 고찰<BR>Ⅳ. 결론<BR>Ⅴ. 참고문헌<BR>
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