학술저널
극초단 펄스 레이저를 이용한 미세 패터닝기술
Micro-fabrication Technology using Ultrashort Pulse Laser
- 한국레이저가공학회
- 한국레이저가공학회지
- 한국레이저가공학회지 제7권 제3호
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2004.121 - 10 (10 pages)
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1. 서론<BR>2. 극초단 펄스 레이저<BR>3. 재료반응 특성<BR>4. 극초난 펄스레이저 응용 미세 패터닝기술의 현황<BR>5. 극초단 펄스 레이저 가공의 향후 과제<BR>참고문헌<BR>
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