학술대회자료
Nd-YAG 펄스레이저에 의한 실리콘 가공시 발생하는 증발반동압력 분석
Analysis of recoil force during Nd-YAG laser ablation of silicon
- 한국레이저가공학회
- 한국레이저가공학회 학술대회 논문집
- 2003년도 추계학술발표대회 논문개요집
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2003.1086 - 92 (7 pages)
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Ⅰ. 서론<BR>Ⅱ. 실험방법<BR>Ⅲ. 모델링<BR>Ⅳ. 결과 및 고찰<BR>Ⅴ. 결론<BR>Ⅵ. 참고문헌<BR>
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