학술대회자료
레이저유도 습식에칭에 의한 고세장비 마이크로채널 제조
Fabrication of high-aspect ratio micro-channels with laser-induced wet etching
- 한국레이저가공학회
- 한국레이저가공학회 학술대회 논문집
- 2005년도 추계학술발표대회 논문집
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2005.11122 - 127 (6 pages)
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Ⅰ. 서론<BR>Ⅱ. 실험방법<BR>Ⅲ. 결과 및 고찰<BR>Ⅳ. 결론<BR>Ⅴ. 참고문헌<BR>
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