학술저널
박막 패턴의 레이저 리페어 연구
A Study of Laser Repair for Thin Film Pattern
- 한국레이저가공학회
- 한국레이저가공학회지
- 한국레이저가공학회지 제1권 제1호
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1998.1139 - 44 (6 pages)
- 81
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Abstract<BR>1. 서론<BR>2. Laser에 의한 결함의 수정 실험<BR>3. Laser 리페어 시스템 구성<BR>4. 결론<BR>참고문헌<BR>
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