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학술대회자료

FPD 산업용 Laser Glass Cutting 기술 개발

Development of Laser Glass Cutting Technology for FPD Industry

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  최근까지 기판재료의 절단은 유리의 취성을 이용한 기계적 분단 방식으로 주로 이용되고 있다. 그러나 동일한 취성으로 인하여 절단면 모서리에서 마이크로 크랙이 발생하므로, 이 마이크로 크랙을 제거하기 위하여 연마와 세정과 같은 추가 공정이 필요하게 되는 등 많은 문제를 갖고 있다. 그러므로 이 문제를 해결하기 위하여, 세계적으로 여러 연구소나 회사에서 열응력을 이용한 레이저를 이용한 절단 기술이 제안되었으나, 공정 자체와 대형화에 따른 공정기술의 미성숙으로 양산 라인에서의 적용은 제한적이었다. 그러나 본 논문에서는 cw Yb:YAG 레이저에 의한 열응력과 기계적 장치에 의한 응력를 동시에 이용한 풀바디 절단기술을 세계 최초로 개발하여 양산라인의 적용에 성공하였다. 이러한 하이브리드 기술로 최대절단속도는 Diamond Wheel 절단속도의 약 3배에 이르는 870㎜/s에 도달하였다.

ABSTRACT<BR>1. 서론<BR>2. 레이저 유리 절단을 위한 MA-MLBA 공정<BR>3. 결론 및 향후 응용분야<BR>참고문헌<BR>

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