FPD 산업용 Laser Glass Cutting 기술 개발

Development of Laser Glass Cutting Technology for FPD Industry

  최근까지 기판재료의 절단은 유리의 취성을 이용한 기계적 분단 방식으로 주로 이용되고 있다. 그러나 동일한 취성으로 인하여 절단면 모서리에서 마이크로 크랙이 발생하므로, 이 마이크로 크랙을 제거하기 위하여 연마와 세정과 같은 추가 공정이 필요하게 되는 등 많은 문제를 갖고 있다. 그러므로 이 문제를 해결하기 위하여, 세계적으로 여러 연구소나 회사에서 열응력을 이용한 레이저를 이용한 절단 기술이 제안되었으나, 공정 자체와 대형화에 따른 공정기술의 미성숙으로 양산 라인에서의 적용은 제한적이었다. 그러나 본 논문에서는 cw Yb:YAG 레이저에 의한 열응력과 기계적 장치에 의한 응력를 동시에 이용한 풀바디 절단기술을 세계 최초로 개발하여 양산라인의 적용에 성공하였다. 이러한 하이브리드 기술로 최대절단속도는 Diamond Wheel 절단속도의 약 3배에 이르는 870㎜/s에 도달하였다.

ABSTRACT<BR>1. 서론<BR>2. 레이저 유리 절단을 위한 MA-MLBA 공정<BR>3. 결론 및 향후 응용분야<BR>참고문헌<BR>

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