학술대회자료
레이저 국소증착을 이용한 미세 회로수정 패턴 제조
Laser-induced chemical vapor deposition for circuit repair
- 한국레이저가공학회
- 한국레이저가공학회 학술대회 논문집
- 2004년도 추계학술발표대회 논문집
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2004.1018 - 21 (4 pages)
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Ⅰ. 서론<BR>Ⅱ. 실험방법<BR>Ⅲ. 결과 및 고찰<BR>Ⅳ. 결론<BR>Ⅴ. 참고문헌<BR>
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