학술대회자료
공초점 정렬을 이용한 자동초점보정 레이저 직접묘화 시스템
Auto-focusing laser direct writing system using confocal geometry
- 한국레이저가공학회
- 한국레이저가공학회 학술대회 논문집
- 2006년도 춘계학술발표대회 논문집
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2006.06123 - 128 (6 pages)
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We constructed a micro-patterning system that build patterns on a photoresist coated wafer using laser direct writing system. Confocal microscope system was adapted for real-time auto-focusing of the laser writing lens to generate lines of uniform width.
ABSTRACT<BR>1. 서론<BR>2. 레이저 직접묘화 시스템<BR>3. 실험 및 결과<BR>4. 결론<BR>참고문헌<BR>
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