학술저널
Nd-YAG 펄스레이저에 의한 실리콘 가공시 발생하는 증발반동압력 측정 및 분석
Measurement and analysis of recoil force during Nd-YAG laser ablation of silicon
- 한국레이저가공학회
- 한국레이저가공학회지
- 한국레이저가공학회지 제6권 제3호
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2003.1211 - 17 (7 pages)
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Abstract<BR>1. 서론<BR>2. 실험방법<BR>3. 모델링<BR>4. 실험결과 및 고찰<BR>5. 결론<BR>참고문헌<BR>
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