열처리 조건에 따른 엘라스토머 기판 상에 제작한 유기물 강유전체 커패시터의 특성

Characteristics or Organic Ferroelectric Capacitor According to the Annealing Conditions Fabricated on Elastomeric Substrate

PDMS 엘라스토머 기판 상에 유기물 강유전체 재료인 P(VDF-TrFE)를 절연층으로 사용하여 유기물 강유전체 커패시터를 제작하였다. 용우전압 특성 확인 결과, P(VDF-TrFE) 강유전체 박막의 강유전성으로 인한 쌍봉 특성이 얻어졌으며, 이는 PDMS 기판 상에 제작된 강유전체 박막에서도 강유전성이 유지된다는 것을 의미한다. 비록 신축성 특성을 얻기 위한 구조의 개선이 필요하지만. 엘라스토머 기판에서도 우수한 메모리 특성과 공정 안정 성을 확보할 수 있었다.

The organic ferroelectric nonvolatile memory capacitors were fabricated on polydimethylsiloxane (PDMS) elastomer substrates, in which an organic ferroelectric poly(vinylidene-trifluoroethylene) layer was used as insulator. The voltage-dependent capacitance variations showed typical butterfly-shaped hysteresis behaviors owing to the polarization reversal in the film. This result clearly indicates that the P(VDF-TrFE) film prepared on the PDM S substrate exhibits ferroelectric natures. Although some specified device structures should be devised in order to obtain the stretchable characteristics, process feasibility, sound memory behaviors, and simple bending properties of the fabricated memory capacitors were successfully confirmed on the PDM S substrates.