학술저널
LCD공정 장비용 Bake Chamber의 유한요소를 이용한 구조해석
F E M Structural Analysis o f Bake Chamber for L C D Processing Equipement
- 호서대학교 공업기술연구소
- 공업기술연구 논문집
- 제29권 제1호
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2010.061 - 6 (6 pages)
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본 논문은 초대형 TFT-LCD용 Bake Chamber의 주요 구성 부품에 대하여 구조적 특성을 분석 하고, 이들 부품에 대하여 구조해석모델을 설계하고 검증하는 것이다. Bake Chamber의 구조해석을 위하여 상용 프로그램인 Hyper Works 을 이용하여 구조해석모델을 설계하고，ABAQUS을 이용하여 시뮬레이션을 수행하였으며, 해석모델을 변경하면서 시물레이션 결과와 실제 시험 결과를 비교 검증하 였 다 . 본 연구에서는 Bake Chamber 상부덮개 중앙 Frame의 처짐, HP Glass의 하중과 열에 의한 처짐을 구조해석을 통해 시뮬레이션을 하였다. 본 논문에서는 구조해석을 통하여 Bake Chamber 및 Glass의 기계적 특성을 연구하고 시뮬레이션을 수행함으로서 Bake Chamber의 응력 분포 및 변위에 대한 기초자료를 제시 하였다.
1. 서 론
2. 설계 및 해석
3. 해석 결과
4. 결 론
후 기
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