학술저널
가연성 가스센서 개발
Developm ent of C om bustible Gas censor
- 호서대학교 공업기술연구소
- 공업기술연구 논문집
- 제26권 제1호
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2007.06123 - 128 (6 pages)
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본 논문에서는 표면 마이크로머시닝 (surface micromachining) 기술을 이용하여 100x100 -260><260 사 m2 의 면 적을 가진 열적으로 고립된 micro-hot-plate(MHP) 을 제작하였다 . ANSYS 시물레이터tool 을 이용하여 센서의 최 적 설계를 수행하였다 . micro-heater 재 료 로 P(phosphorus) 가 도핑된 poly-Si 를 ， 온도 감지 재료로 A1 을 ，가스 감지재료로 Sn02 ( 수소 감지용 ) 또는 ZnO (NH3 감지용 ) 박막을 사용하였다 . 가스센서의 상세한 제작 공정을 기술하였다 .
1. 서 콘
2. 가연성 가스센서 요소 기슬개발
3. 결 론
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