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학술저널

ZnO 酸化物半導體를 移用한 紫外線 光센서에 관한 硏究

A S tudy on the P notoresponsivity oi ZnO S chottky barrier diodes

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分子線에피택시法으로 成長한 ZnO 酸化物半導體를 移用하여 製作한 쇼트키배리어 다이오드에 대하여 紫外線 光센서로서의 光特性을 調 査 한다 . 첫 째 ,白色光 照射 時 飽和 電流値가 100倍 以上 增加하는 光여기 特性을 나 타 낸 다 . 둘 째 ,照射하는 빔의 波 長 에 대하 390nm의 遮斷 長 波 長을 갖으며 195nm 以上 의밴드 폭을 갖는 波 長 感 度 特性을 나 타 낸 다 . 셋 째 , 紫 外 線 에 대해 0.36msec의 時定數를 갖는 것으로 評價된다 . 따라서 ZnO 酸 化 物 半 導體는 向後 紫外線 光센서소자의 材 料 로서 期待 되 어 진 다 .

1.Introduction

n . Experimental

HI. Results and discussion

IV. Conclusions

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