SEC S (S E M I E quipment Communication Standard ) 통신 모듈의 구현

The Implementation of SECS (SEMI Equipment Communication Standard) Module

S E C S (S E M I E q u ip m e n t C o m m u n ic a tio n S ta n d a r d ) 프로토콜이란 반도체 제조 공정에서 사용되는 장비간의 통신 규약을 말한다. 이러한 S E C S 프로토콜은 단일 메시지/무응답 , 요청/ 데이터, 전송/ 승인 ，질의/ 허가/ 전송/승인과 같은 메시지 전송 규정을 정의하고 있으며 , 이에 따라 메시지 블록 (m e ssa ge block) 단위로 데이터를 처리한다. S E C S 프로토콜의 구현 시에는 전송할 데이터의 크기가 최대 메시지 블록 크기를 초과할 경우 메시지 블록 단위로 나누어 처리하는 다중 블록 메시지 (m u lti- b lo c k m e ssag e )처리 기능, 정의된 메시지 전송 규정을 하나의 트랜잭션(tr a n s a c tio n ) 으로 관리하고 각 트랜잭션을 독립적으로 처리하는 다중 오픈 트랜잭션(m u lti- o p e n tr a n s a c tio n ) 기능, 데이터 전송 오류로 인해 발생할 수 있는 동일한 메시지 블록의 복제 현상을 검출하고 처리하는 복제 블록 검출 및 처리 기능을 제공할 수 있도록 고려해야한다. 본 논문은 다중 블록 메시지 처리 , 다중 오픈 트랜잭션 처리, 복제 블록 검출 및 처리 가능을 제공하는 S E C S 통신 모듈 (c o m m u n ic a tio n m o d u le )을 구현한 내용을 설명한다. 구현된 S E C S 통신 모듈은 추후 확장 및 변경이 용이 하도록 객체 지향적 (objectᅭo r ie n te d )인 방식으로 설계되었다.