학술저널
Wet Station 장비 제어를 위한 모니터링 시스템의 설계
Design of a Monitoring System for controlling the Wet Station Equipment
- 호서대학교 공업기술연구소
- 공업기술연구 논문집
- 제16권 제1호
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1997.12433 - 448 (16 pages)
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본 논문에서는 반도체 제조 장비인 W e t S t a t io n 의 동작 상태를 사용자가 감지하고 이를 간접적으로 제어하기 위한 모니터링 시스템의 설계에 관하여 기술한다. 대부분의 기존 모니터링 시스템은 하드웨어 및 소프트웨어의 범용성이 결여되어 있다. 제시한 모니터링 시스템의 기본 목표는 사용자의 편의성과 시스템의 범용성을 제공하는 것이 다. 이를 위하여 IB M PC 호환 기종의 W in d o w s N T 운영체제에서 G U I 기능을 이용한 사용자의 편의성과, T C P /IP 통신 프로토콜을 기본으로한 E th e r N e t 보드를 이용한 시스템의 범용성을 제공할 수 있도록 설계하였다.
1 서 론 .
2. 시스템 설계
3. 결 론
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