학술저널
SiC 증착물의 형상에 미치는 과포화도의 영향
Effect of Supersaturtion on Morphology of Silicon Carbide Deposits
- 강원대학교 산업기술연구소
- 산업기술연구
- vol.6
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1986.0913 - 17 (5 pages)
- 17
I 서 론
II 과포화도계산 및 실험방법
III 결과 및 고찰
IV 결 론
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