학술저널
SiC의 화학증착에 대한 열역학적 평형농도계산
A Thermodynamic Calculation of Equilibrium Concentration for the CVD of SiC
- 강원대학교 산업기술연구소
- 산업기술연구
- vol.5
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1985.0973 - 79 (7 pages)
- 12
I. 서 론
II. 열역학적 평형농도 계산
III. 계산결과 및 고찰
IV. 결 론
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