학술저널
증착변수가 SiC 화학증착에 미치는 영향
The Effects of Deposltion Variables on the CVD of SiC
- 강원대학교 산업기술연구소
- 산업기술연구
- vol.4
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1984.0937 - 41 (5 pages)
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I. 서 론
II. 열역학적 고찰
III. 재료 및 실험방법
IV. 실험결과 및 고찰
v. 결 론
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