학술저널
다결정 실리콘의 화학증착에 대한 연구
A Study on Chemical Vapor Deposition of Polycry stalinc Silicon.
- 강원대학교 산업기술연구소
- 산업기술연구
- vol.2
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1982.0913 - 19 (7 pages)
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1. 서 론
2. 이론적 고찰
3. 실험방법
4. 실험 결과 및 고찰
5. 결 론
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