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한국세라믹학회 한국세라믹학회지 18권 1호 탄화규소 증착에서의 전산유체역학 시뮬레이션의 응용
학술저널

탄화규소 증착에서의 전산유체역학 시뮬레이션의 응용

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1. 서론

2. 전산유체역학의 개요

3. 탄화규소 CVD 공정에의 CFD의 적용

4. 결론

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