파워디바이스용 고열전도율 질화규소 기판 소재

1. 서언 (디바이스용 기판 소재)

2. 질화규소(Si3N4) 기판 소재의 특장(特長)

3. 고열전도율 질화규소의 기술 개발 동향

4. 질화규소 기판의 적용 사례

5. 디바이스용세라믹기판소재연구개발의기대효과

6. 결언

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