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한국세라믹학회
한국세라믹학회지
9권 4호
리모트 플라즈마 원자층 증착 기술
학술저널
리모트 플라즈마 원자층 증착 기술
한국세라믹학회
한국세라믹학회지
9권 4호
2006.08
32 - 37 (6 pages)
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1. 서 론
2. 리모트 플라즈마를 이용한 박막 증착
3. 결 론
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