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한국세라믹학회 한국세라믹학회지 9권 4호 플라즈마 원자층박막증착 기술과 유전 박막에의 응용
학술저널

플라즈마 원자층박막증착 기술과 유전 박막에의 응용

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1. 서 론

2. PEALD 공정의 이해

3. PEALD 반응기

4. 유전 박막에의 PEALD 적용

5. 결 론

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