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한국세라믹학회 한국세라믹학회지 4권 1호 차세대 ULSI interconnection을 위한 CVD 저유전율 박막 개발
학술저널

차세대 ULSI interconnection을 위한 CVD 저유전율 박막 개발

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1. 서론

2. 본론

3. 요약

참고문헌

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