구리반도체용 저유전재료의 신뢰성 평가

1. 서론

2. 저유전재료의 기계적 물성

3. m-ELT[modified Edge Lift-off Test] 방법을 이용한 저유전재료의 계면접착 신뢰성 평가

4. 구리이온 이동현상

5. 배선의 일렉트로마이그레이션

6. 결언

7. 감사의 글

참고문헌

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