저유전재료 연구개발동향

1. 서론

2. ULSI 소자의 배선공정과 저유전재료의 응용

3. 저유전율 재료 개발 현황

4. 초저유전율 재료 연구 동향

4. ULSI 저유전재료 집적 공정 및 문제점

5. 결론

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