차세대 MOSFET 소자용 고유전율 게이트 절연막 기술

1. 서론

2. ZrO₂의 전기적 특성

3. TaOxNy/ZrSixOy의 전기적 특성 연구

4. Epitaxy oxide

5. 요약

참고문헌

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