학술저널
압전성 PZT 박막과 Surface Micromachining 기술을 이용한 Microelectromechnical System 소자의 제작 공정 및 문제점
- 한국세라믹학회
- The Korean Journal of Ceramics
- Vol.12 No.5
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1997.10364 - 370 (7 pages)
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1. 서론
2. 본론
3. 맺음말
참고문헌
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