학술저널
Giga bit DRAM 시대의 고유전체 MOCVD 기술
- 한국세라믹학회
- The Korean Journal of Ceramics
- Vol.11 No.3
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1996.06148 - 156 (9 pages)
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1. 서론
2. BST 박막 특성
3. BST MOCVD Process
4. BST MOCVD Process 연구 동향
5. 결론
참고문헌
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