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학술저널

Ellipsometry 에 의한 세라믹 박막의 두께 및 굴절지수 측정

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1 • 서 론

2. 시편준비 및 측정

3. 기판의 굴절지수 계산

4. 기판위에 형성된 박막의 두께 계산

5. 결 언

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