학술저널
Ellipsometry 에 의한 세라믹 박막의 두께 및 굴절지수 측정
- 한국세라믹학회
- The Korean Journal of Ceramics
- Vol.2 No.4
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1987.12392 - 395 (4 pages)
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1 • 서 론
2. 시편준비 및 측정
3. 기판의 굴절지수 계산
4. 기판위에 형성된 박막의 두께 계산
5. 결 언
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