학술저널
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실리콘 산화막(sio₂)
Ⅲ. 분순물을 dope 한 산화 실리콘막
Ⅳ. Spin On Glass(SOG)막
Ⅴ. 다결정 실리콘막
Ⅵ. 실리콘 잘화막(Si₃N₄)
Ⅶ. 고유전체 절연막
Ⅷ. 맺음말
참고문헌
(0)
(0)