학술저널
이온빔 기술을 이용한 박막제조와 표면개질
- 한국세라믹학회
- The Korean Journal of Ceramics
- Vol.7 No.3
-
1992.09252 - 260 (9 pages)
- 0
1. 서론
제2장 수십 keV의 에너지를 이용한 표면개질, 이온주입
제3절 이온빔을 이용한 박막제조
참고문헌
(0)
(0)