학술저널
플라즈마 화학증착공정에 의한 박막제조
- 한국세라믹학회
- The Korean Journal of Ceramics
- Vol.7 No.3
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1992.09261 - 269 (9 pages)
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1. 서론
2. Plasma의 개요
3. PECVD 공정을 이용한 박막제조 사례
4. 결론
참고문헌
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