전문잡지
엑시머 레이저 기술이 마이크로 LED 디스플레이의 상용화 앞당겨
- 한국레이저가공학회
- Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)
- 2018 OCTOBER Vol.21, No.18
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2018.1010 - 12 (3 pages)
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엑시머 LLO를 활용한 고성능 박막 마이크로 LED
웨이퍼-패널 평행 이송에 활용되는 대형 엑시머 레이저 빔
고성능 마이크로 LED 픽셀에 필수적인 고이동성 저온폴리실리콘(LTPS) 후면판
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