전문잡지
펄스 레이저 증착으로 제작하는 Diamond-Like Carbon(DLC) 필름
- 한국레이저가공학회
- Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)
- 2019 AUGUST Vol.22, No.8
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2019.088 - 13 (6 pages)
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현재 사용되는 DLC 기술의 단점
엑시머 레이저의 장점
최적 조건에서 제작한 ta-C 필름의 측정 물성
측정 결과 및 상업화 측면
코히런트 LEAP 엑시머 레이저
참조 자료
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