전문잡지
고정밀 패키지 통합을 실현하여 5G 모바일 혁명을 뒷받침하고 있는 엑시머 레이저
- 한국레이저가공학회
- Laser Solutions(구 한국레이저가공학회지)
- 2020 JANUARY Vol.23, No.1
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2020.014 - 8 (5 pages)
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점점 어려워지는 패키징
RDL 트렌치(trench) 및 마이크로비아(microvia)의 듀얼 다마신 패터닝
리소그래피
엑시머 레이저 공정
엑시머 레이저 공정의 속도와 처리량
시드 층 제거
요약
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