상온 분사 공정에 의한 물리량 감지 센서용 박막 소재 개발

1. 서론

2. 고감도 압전 박막 소재

3. 고속 대면적 상온 분사 코팅 기술

4. 압전 박막 두께 제어

5. NTC계 박막소재

6. 파급 효과 및 맺음말

감사의 글

참고문헌

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