탄화규소 단결정 박막 성장 기술

1. 들어가며

2. 탄화규소의 물성적 특징

3. 탄화규소 전력 소자의 응용 분야

4. 탄화규소 단결정 성장 (Bulk Growth)

5. 단결정 박막 성장 (Epitaxial Growth)

6. 맺음말

감사의 글

참고문헌

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