학술저널
마이크로머쉰의 자동 시뮬레이션 시스템
Automated Simulation System for Micromachines
- 한국시뮬레이션학회
- 한국시뮬레이션학회 논문지
- 제5권 제1호
-
1996.0629 - 41 (13 pages)
- 0
1. Introduction
2. Outline of the System
3. Electrostatic Micro Wobble Actuator
4. Results and Discussions
5. Conclusions
References
(0)
(0)