[A 6.3] 반도체 후공정의 MCP(Multi-chip Package) 생산량 증가를 위한 연구

Research for Increase of MCP (Multi-chip Package) Production in Semiconductor Back-end

MCP(Multi-chip Package)는 NAND 메모리와 DRAM 메모리가 하나로 구성되는 패키지 메모리 제품이다. MCP는 반도체 후공정의 Package 공정에서 D/A와 W/B 공정에서 생산되며 재진입(Re-entrant)구조를 가지게 된다. MCP의 생산량에 영향을 미치는 요인 중 하나가 Layer sequence이다. 본 논문에서는 Layer sequence를 고려하여 반도체 후공정의 MCP 생산량 증가에 대한 실험을 하고 결과를 분석한다.