학술대회자료
마그네트론 스퍼터링 효율 향상을 위한 시뮬레이션 기반 자기장 설계
- 한국시뮬레이션학회
- 한국시뮬레이션학회 학술대회집
- 2017년 춘계학술대회 발표집
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2017.045909 - 5909 (1 pages)
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