학술대회자료
Modeling time-variant dual-armed cluster tool behavior
- 한국시뮬레이션학회
- 한국시뮬레이션학회 학술대회집
- 2017년 춘계학술대회 발표집
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2017.045419 - 5419 (1 pages)
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Introduction
Previous research
State for cluster tool
Action for cluster tool
Transition for cluster tool
Reward for cluster tool
Conclusion
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