학술대회자료
Multi-step Virtual Metrology using Imputation of Missing Variables
- 한국시뮬레이션학회
- 한국시뮬레이션학회 학술대회집
- 2017년 춘계학술대회 발표집
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2017.043434 - 3460 (27 pages)
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1. 목적 및 개요
2. Module 개념
3. Virtual Metrology 활용 예
4. 전처리 및 특질 추출
5. Single Step VM
6. Multi Step VM
7. 결과 정리
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