수소화 비정질 실리콘 기반 분배 브래그 하부 반사기를 적용한 고효율 광 격자 커플러

High-Efficency Grating Coupler with Distributed-Bragg Bottom Reflector Based on Hydrogenated Amorphous Silicon

본 연구에서는 수소화 비정질 실리콘 (a-Si:H) 기반 분배 브래그 반사기 (Distributed Bragg Reflector, DBR)을 적용한 광 격자 커플러를 제안하여 라이다 시스템에서 고효율의 나노 광 방사기로 사용할 수 있다는 가능성을 보여주었다. 분배 브래그 반사기는 아랫방향으로 누설되는 광학 장을 감소시켜 커플링 효율을 높게 한다. 결과적으로 제안된 광 격자 커플러는 기존의 광 격자 커플러와 비교하여 약 1.4 배가 높은 far-field 세기를 가진다는 것을 보여주었다.

In this paper, hydrogenated amorphous silicon(a-Si:H) grating coupler with distributed Bragg reflector(DBR) is proposed to achieve high-efficiency nanophotonic radiator for Light Detection and Ranging(LiDAR) application. The DBR reduces downward leakage of the optical field below the grating region. As a result, the far-field intensity shows about 1.4 times stronger, compared to the common grating coupler without the DBR.