머리카락과 같은 레이저 유도 그래핀 패턴을 기반으로 한 초고감도 습도 센서의 직접 제작

3차원(3-D) 다공성 흑연 구조는 전도성 탄소 네트워크와 넓은 표면적 때문에 감지 응용 분야에 큰 잠재력을 가지고 있다. 이 작업에서 우리는 355nm 펄스 레이저가 장착된 레이저 스크라이빙 시스템을 사용하여 머리카락 모양의 레이저 유도 그래핀(LIG) 패턴을 쉽게 제작하는 방법을 제시한다. 폴리이미드(PI) 필름을 디포커싱된 평면에 위치시키고 오정렬된 레이저 빔을 사용하여 느린 스캐닝 속도로 조사하였다. 이러한 패턴은 넓은 표면적과 풍부한 산화기의 장점을 가지고 있다. 습도 센서에 머리카락 같은 LIG 패턴을 적용했다. 습도 센서는 좋은 감도 특성을 보였고 많은 양의 전자 캐리어를 저장할 수 있다.

1. 서론

2. 실험적 방법

3. 결과 및 토의

4. 결론

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