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학술대회자료
Low Temperature Hermetic Packaging for MEMS Devices
- Choi Won Kyoung Wang Qian Kim Won Bae Moon Changyoul
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2005년도 ISMP
- 2005.09
- 249 - 272 (24 pages)