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학술대회자료
dielectrics를 이용한 reactive sputtering TaN gate electrode 의 특성분석
Characterization of reactive sputtering TaN fate electrode on dielectrics
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2003년도 기술심포지움 논문집
- 2003.11
- 185 - 190 (6 pages)