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학술대회자료
강유전체 박막 게이트를 갖는 전계효과 트랜지스터 소자의 제작
Preparation of Field Effect Transistor with Ferroelectric Thin Film Gate
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회자료집
- 2003년도 기술심포지움 논문집
- 2003.11
- 221 - 225 (5 pages)